ReinRaumTechnik 04/2012
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REINRAUMTECHNIK
EDITORIAL
Evolution in der Informationstechnologie 3
Dr. R. T. Fox
VIP3000
Berichte aus dem Vorstand 6
6. Symposium Zukunftstrends Pharmabau
VERANSTALTUNGEN
Neues Messeduett 8
Plastics Electronics Exhibition & Conference und Semicon Europa zusammen am Start
Cleanroom Village 10
Reinraumtechnik auf der Chillventa 2012
Wieso, Weshalb, Warum? 12
Lounges 2013: Ein Drei-Tages-Vortragsprogramm mit über 250 Vorträgen kostenfrei
FOKUS HALBLEITER-INDUSTRIE
Die Kunst des Klebens 14
Ein Einblick in die Produktion der Tesa SE
G. von der Geest
Echtzeit-Partikelmonitoring 17
In-Line CRDS Spektrometrie stützt EUV-Lithographie
F. Conroy, Tiger Optics
Wafer-Produktion optimiert 20
Der Reinraum Rotomat
G. Knehr
PARTIKELMONITORING
Sechs auf einen Streich 24
Das gleichzeitige Kalibrieren von bis zu sechs Partikelzählern
L. Mölter, Dr.-Ing. J. Blattner, A. Machmüller
Luftgetragene Kontaminationen 27
Mobile Technik zur Identifikation von Kontaminationsquellen im Reinraum
M. Berdovich, T. Pietrykowski, Dr. R. Jansen
REINSTMEDIEN
Tropfen für Tropfen 30
Wirtschaftliche Herstellung von Reinstwasser
Dr. H. Bendlin
Die offizielle STS Prüfstelle 32
Qualifizierung von Reinraumsystemen und thermischen Prozessen
Mikrobiologische Probenahme von Gasen unter Druck 33
TUTORIAL
Die Qualifizierung von Reinräumen 34
Teil 2 - Erstellung des Masterplans und des Lastenhefts
Prof. G. Dittel, C. Uhl
REINRAUMBAU
Kleiner ist oft teuer 36
Wirtschaftliche Faktoren von Personalschleusen für Reinräume im Fokus
F. Dittel
REINRAUMREINIGUNG
Mehr als nur eine Box 38
Reinraum-Reinigung und Desinfektion
M. Witt-Mäckel, D. Pfennig
Saugbeutel für nasse & trockene Medien 40
PurVac Reinraumsauger
T. R. Becker
LÜFTUNGSTECHNIK
Effiziente Luftfilterlösungen 42
Sicherheitsgehäuse für hochsensible Luftfiltration
Lüftungs- und Klimatechnik im Reinraum 43
HYGIENE
Sporen in wasserführenden Systemen 44
Desinfektionsmethode für sporenbelastete Prozesswässer in gewerblichen
Wäschereien
M. Beeh
