Universeller Gasanalysator
Die Massenspektrometer der UGA-Serie von SI arbeiten von oberhalb Atmosphärendruck bis hinunter in den UHV-Bereich. Die Nutzbarkeit der portablen Systeme erstreckt sich von der Online-Überwachung einzelner Prozessgase bis zur kompletten Analyse von Gasgemischen. Einsatzbereiche sind das große Feld der Halbleiter-, Brennstoffzellen-, Umwelt-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Damit lässt sich nach Wasserstoff oder Spuren von Fremdstoffen, Lösemitteln, Kohlenwasserstoffen, Kühlmitteln oder korrosive Gasen suchen. Das UGA enthält eine zweistufige Druckreduktionsstufe zur Abnahme von Proben bei Atmosphärendruck.
Nach der Druckreduktion wird der Gasstrom über ein Massenspektrometer (Restgasanalysator) geführt. Dieses misst die Konzentrationen der interessierenden Massen. Das System besteht aus zwei Pumpen, Ionisator mit Quadrupolfilter und Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windowsbasis. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor und zur Steigerung der Empfindlichkeit und Verkürzung der Messzeiten ist zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher eingebaut.
Die Software bietet vielfältige Auswerte- und Anzeigemöglichkeiten, wie Druck über der Massezahl, Druck über der Zeit, Histogrammmodus, Leckdetektion, eine umfangreiche Bibliothek, Messtabellen oder Grenzwerttabellen. Das System kann zusätzlich manuell von der Frontplatte aus bedient werden.
