Reinraumtechnik 4/2012

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04.10.2012 • ThemenTechnologie

Echtzeit-Partikelmonitoring

ReinRaumTechnik - Die Analyse luftgetragener molekularer Kontaminationen (airborne molecular contamination, AMC) in den Halbleiter-Fertigungslinien gewinnt zunehmend an Bedeutung.

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