Monitoring von Partikelkontamination

Apmon von PMT Partikelmessung ist ein System zur kontinuierlichen Überwachung von Oberflächen-Belastungen durch große Partikel. Es eröffnet Analysemöglichkeiten in Reinräumen jenseits der ISO Klasse 5, in denen kontinuierliche, extraktive Partikel-Monitoringsysteme prinzipbedingt keine Anwendungsmöglichkeiten haben. Das Analyse-System ist speziell zum kontinuierlichen Monitoring großer Partikel (> 20 µm). Ein laseroptisches Verfahren erfasst die Sedimentation großer Partikel auf ein Array von Testoberflächen. Änderungen in der Partikel-Belegungszahl werden registriert und am Ende eines bestimmten Zeittaktes als Partikelanzahl und Partikelverteilung ausgewiesen.