Das ePaper der ReinRaumTechnik Ausgabe 04/2012 lesen Sie hier.

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REINRAUMTECHNIK
EDITORIAL
Evolution in der Informationstechnologie 3
Dr. R. T. Fox

VIP3000
Berichte aus dem Vorstand 6
6. Symposium Zukunftstrends Pharmabau

VERANSTALTUNGEN
Neues Messeduett 8
Plastics Electronics Exhibition & Conference und Semicon Europa zusammen am Start

Cleanroom Village 10
Reinraumtechnik auf der Chillventa 2012

Wieso, Weshalb, Warum? 12
Lounges 2013: Ein Drei-Tages-Vortragsprogramm mit über 250 Vorträgen kostenfrei

FOKUS HALBLEITER-INDUSTRIE
Die Kunst des Klebens 14
Ein Einblick in die Produktion der Tesa SE
G. von der Geest

Echtzeit-Partikelmonitoring 17
In-Line CRDS Spektrometrie stützt EUV-Lithographie
F. Conroy, Tiger Optics

Wafer-Produktion optimiert 20
Der Reinraum Rotomat
G. Knehr

PARTIKELMONITORING
Sechs auf einen Streich 24
Das gleichzeitige Kalibrieren von bis zu sechs Partikelzählern
L. Mölter, Dr.-Ing. J. Blattner, A. Machmüller

Luftgetragene Kontaminationen 27
Mobile Technik zur Identifikation von Kontaminationsquellen im Reinraum
M. Berdovich, T. Pietrykowski, Dr. R. Jansen

REINSTMEDIEN
Tropfen für Tropfen 30
Wirtschaftliche Herstellung von Reinstwasser
Dr. H. Bendlin

Die offizielle STS Prüfstelle 32
Qualifizierung von Reinraumsystemen und thermischen Prozessen

Mikrobiologische Probenahme von Gasen unter Druck 33

TUTORIAL
Die Qualifizierung von Reinräumen 34
Teil 2 - Erstellung des Masterplans und des Lastenhefts
Prof. G. Dittel, C. Uhl

REINRAUMBAU
Kleiner ist oft teuer 36
Wirtschaftliche Faktoren von Personalschleusen für Reinräume im Fokus
F. Dittel

REINRAUMREINIGUNG
Mehr als nur eine Box 38
Reinraum-Reinigung und Desinfektion
M. Witt-Mäckel, D. Pfennig

Saugbeutel für nasse & trockene Medien 40
PurVac Reinraumsauger
T. R. Becker

LÜFTUNGSTECHNIK
Effiziente Luftfilterlösungen 42
Sicherheitsgehäuse für hochsensible Luftfiltration

Lüftungs- und Klimatechnik im Reinraum 43

HYGIENE
Sporen in wasserführenden Systemen 44
Desinfektionsmethode für sporenbelastete Prozesswässer in gewerblichen
Wäschereien
M. Beeh