Reinraumtechnik

Der Pura Reinstgas Spurenfeuchte Transmitter von Michell

Der Pura Reinstgas Spurenfeuchte Transmitter von Michell wurde speziell für Anwendungen entwickelt, in denen die Reinheit des Gases von außerordentlicher Wichtigkeit ist, und selbst minimale Spuren von Feuchte als Kontaminierung zu verstehen sind. Basierend auf dem bewährtem „Advanced Ceramic Moisture“ Sensor ist der Pura in der Lage, Taupunkte zwischen -120 und -40 °C Td zu messen. Das entspricht einem Messbereich von 1 ppbV  bis 126,71 ppmV ausgedrückt als Feuchtekonzentration im Gas. Mit der Fokussierung auf sehr niedrige Feuchtekonzentrationen wird die Leistung für Anwendungen in der Halbleiter Herstellung, in denen der beinahe vollständige Ausschluss von Feuchte ein entscheidendes Qualitätskriterium darstellt, optimiert. Der Transmitter ist leicht zu installieren und einfach in der Bedienung. Mit dem optional verfügbaren Display erhält man ein hochpräzises und doch kosteneffektives Hygrometer. Routinewartungen sind ebenfalls einfach durchzuführen, da er im Rahmen des Austauschsensorprogramms des Unternehmens erhältlich ist. Hierbei kann der Kunde zu jeder Zeit über einen kalibrierten Sensor verfügen – ganz ohne Stillstandzeiten.

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