Merck und Micron Technology arbeiten gemeinsam an der Entwicklung von Gaslösungen mit einem niedrigen Treibhauspotenzial (GWP) zur Herstellung von Halbleitern. Nach einem Jahr iterativer Zusammenarbeit testet Micron nun ein alternatives Ätzgas mit niedrigem Treibhauspotenzial aus der Forschungs- und Entwicklungsabteilung von Merck, um dessen Prozessleistung zu validieren und ein herkömmliches Gas mit hohem Treibhauspotenzial zu ersetzen. Das Ziel: Neue, nachhaltigere Gaslösungen sollen künftig dauerhaft in die Produktion von Halbleitern eingeführt werden.

„Nachhaltigkeit braucht Zusammenarbeit. Wir dürfen nicht in Silos denken oder uns nur auf unsere Unternehmensgrenzen beschränken. Die gesamte Wertschöpfungskette ist gefordert, neue, gemeinsame Wege zu gehen, um so noch mehr zu erreichen“, sagte Kai Beckmann, Mitglied der Geschäftsleitung von Merck und CEO Electronics, und fügte hinzu: „Wie Merck hat sich auch Micron ambitionierte Nachhaltigkeitsziele gesetzt. Wir freuen uns, dass wir zum Erfolg unseres Kunden beitragen können.“

„Unser neues Ziel ist es, die Emissionen in Microns Betrieben weltweit bis 2030 um 42% gegenüber dem Stand von 2020 zu senken. Wir verfolgen einen vielschichtigen Ansatz, um unsere Netto-Null-Verpflichtungen im Betrieb zu erfüllen. Dazu gehören Investitionen in fortschrittliche Emissionsminderungssysteme, die vorrangige Verwendung von Gasen mit niedrigem Treibhauspotenzial, die Beschaffung energieeffizienter Geräte und der Kauf von erneuerbarer Energie anstelle von Energie aus fossilen Brennstoffen“, sagte John Whitman, CVP, Operations Central Teams & Procurement bei Micron. „Wir sind froh, in Merck einen innovativen Partner zu haben, der uns hilft, diese Ziele zu erreichen“, fügte er hinzu.

Merck und Micron blicken auf eine langjährige, vertrauensvolle Geschäftsbeziehung zurück. Der Test eines neuen Gases mit geringem Treibhauspotenzial soll nur der Anfang der Zusammenarbeit im Nachhaltigkeitsbereich sein. Beide Unternehmen arbeiten daran, neue Materialien zu finden, um verschiedene Ätzgase mit hohem Treibhauspotenzial zu ersetzen, die in Trockenätz- und Kammerreinigungs-anwendungen eingesetzt werden. Dies kann dazu beitragen, die Nachhaltigkeitsziele beider Unternehmen zu erreichen.

Im Mai 2022 hat die unabhängige Science Based Targets Initiative (SBTi) bestätigt, dass die Klimaziele von Merck dem aktuellen Stand der Klimawissenschaft entsprechen. Somit trägt Merck dazu bei, die globale Erderwärmung auf 1,5 °C zu begrenzen und erfüllt die Forderungen des Pariser Klimaschutzabkommens. Merck verpflichtet sich, seine absoluten direkten (Scope 1) und indirekten (Scope 2) Treibhausgasemissionen bis 2030 um 50% zu senken. Der Großteil dieser Treibhausgasemissionen stammt aus prozessbedingten Emissionen bei der Herstellung von Spezialchemikalien für die Elektronikindustrie. Durch verbesserte Prozesse kann Merck diese Emissionen in Zukunft deutlich reduzieren. Gleichzeitig verpflichtet sich Merck außerdem, seine indirekten Emissionen entlang der gesamten Wertschöpfungskette (Scope 3) bis 2030 um 52% pro Euro Wertschöpfung zu senken. Das Vergleichsjahr ist 2020. Die Fortschritte des Unternehmens sind im Nachhaltigkeitsbericht 2021 dokumentiert.