Keyword: airborne molecular contamination AMC
Anlagenbau & Prozesstechnik

Echtzeit-Partikelmonitoring

04.10.2012 - ReinRaumTechnik - Die Analyse luftgetragener molekularer Kontaminationen (airborne molecular contamination, AMC) in den Halbleiter-Fertigungslinien gewinnt zunehmend an Bedeutung...

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