Zur Berechnung der genauen Zusammensetzung werden thermodynamische Daten und Informationen zur Molaren Masse der Komponentengase herangezogen, die für mehr als 250 Gase und Flüssigkeiten tabellarisch festgehalten wurden. Zehntausende von Gemischen sind so messbar. Daten für weitere Gase lassen sich ergänzen. Bei der Gasverhältnismessung liegt die absolute Genauigkeit i.d.R. bei 0,1 %, die relative bei 0,001 %. Wird, wie bei der Metallorganischen Chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD), ein Trägergas als Referenz verwendet, kann die Genauigkeit der Dotierungskonzentration bei 10 ppm liegen. Der physikalische Messmodus dient der Messung der thermodynamischen Eigenschaften von Gasgemischen. Eine Eingabe von Grenzwerten ist möglich. Der Analysator kann direkt in den Gasfluss installiert werden und deckt den Massebereich von N2 bis SF6 ab. Das Gerät verfügt über Dichtungen aus Metall und kommt ohne Laser, Filamente, chemische Sensoren, optische Quellen, Trennsäulen, Referenzgase oder Reagenzien aus. Daher arbeitet es zuverlässig, kostengünstig und praktisch wartungsfrei.