Paul Bönisch, Markus Wenzeis und ihrem Team gelang es, das Steuerungssystem so zu optimieren, dass sich nun die Parameter für die Abscheidung von Polysilicium in Echtzeit anpassen lassen. Die flexible Änderung der Prozessbedingungen ermöglicht ein optimiertes Wachstum der Polysilicium-stäbe. Die Verleihung des mit 10.000 EUR dotierten Preises fand am vergangenen Freitag im Rahmen der Wacker Innovation Days im Werk Burghausen statt.

Wacker stellt Polysilicium nach dem sogenannten „Siemens-Verfahren“ her. Bei einer Temperatur von etwa 1.000 °C scheidet sich aus dem zugeführten gasförmigen Trichlorsilan an Impflingsstäben das hochreine Polysilicium ab. Nach mehreren Tagen sind die Stäbe dann auf den gewünschten Durchmesser angewachsen. Die Reaktoren werden abgeschaltet und geöffnet, die Polysiliciumstäbe entnommen, zerkleinert und für Halbleiter-anwendungen zusätzlich noch aufwändig gereinigt. Fertig verpackt gehen die Polysiliciumstücke an die Kunden – Hersteller von Halbleiter- und Solarwafern in aller Welt.

Gesteuert wurde der Abscheidungsprozess bislang nach klassisch eingestellten Parametern. Mit Hilfe eines neu entwickelten sensor-basierten Aufbaus konnten Paul Bönisch, Markus Wenzeis und ihr Team durch die detaillierte Analyse einer umfangreichen Datensammlung die Programmierung des Prozesssteuerungssystems optimieren. Damit sind jetzt Änderungen der Reaktorbedingungen in Echtzeit möglich. Die Effizienz des gesamten Prozesses kann gesteigert und die Qualität des Endprodukts weiter stabilisiert werden. Der Produktionsprozess wird zudem wesentlich nachhaltiger. „Mit diesem zukunftsweisenden Ansatz stärken wir unsere führende Markt- und Technologieposition in der Herstellung von ultrareinem Polysilicium. Gleichzeitig leistet das neue Verfahren einen wichtigen Beitrag, um unsere Ziele zur Einsparung von CO2 zu erreichen“, sagte Wacker-Vorstandsmitglied Angela Wörl in ihrer Laudatio.

Mit seinem innovativen Ansatz zur Optimierung der Polysiliciumherstellung konnte sich das Burghauser Team gegen starke Konkurrenz durchsetzen. In diesem Jahr hatten sich 24 Teams aus China, Deutschland, Südkorea, der Tschechischen Republik und den USA um den Innovationspreis beworben.