Das Deutsche Reinraum-Institut (DRRI) vergibt jährlich einen mit €2.000 dotierten Förderpreis für hervorragende Masterarbeiten, die deutschen Hochschulen/Universitäten erstmals vorgelegt werden und die innovative, praktisch umsetzbare Themen der Reinraumtechnik zum Inhalt haben oder aber Themenbereiche ansprechen, die derzeit oder künftig für die Reinraumtechnik von größerem praktischen oder wirtschaftlichen Interesse sein könnten. Die Arbeiten müssen wissenschaftlich fundiert dargelegt und von den Hochschulen mindestens mit der Note "gut" bewertet sein.

Zur Bewerbung um den Förderpreis vorgesehene Arbeiten sind der Geschäftsstelle des DRRI durch den Lehrstuhlinhaber/in bzw. Fachabteilungsleiter/in unter Beifügung eines Exemplares der Abschlussarbeit vorzuschlagen. Eine Fachjury entscheidet über die Preiswürdigkeit der eingereichten Abschlussarbeiten. Angenommen werden können nur Abschlussarbeiten, die nicht mit einem Sperrvermerk gleich welcher Art versehen sind. Die Vorlagefrist endet jeweils am 20.09. des Jahres.

Für den Fall, dass in einem Jahr keine Masterarbeit vorgelegt wird oder die vorgelegten Abschlussarbeiten nach gutachterlichen Aussagen und Beschluss durch den Vorstand des DRRI als nicht preiswürdig angesehen werden, entfällt die Vergabe des Förderpreises ersatzlos.