Die Adhäsion von Mikropartikeln auf Oberflächen spielt eine wichtige Rolle bei Reinigungsvorgängen. Bisher geht man davon aus, dass die Adhäsionskraft zwischen Partikel und Oberfläche überwunden werden muss, um es zu entfernen, und dass die Reinigbarkeit von Oberflächen mit den Adhäsionskräften zusammenhängen, die mit dem Rasterkraftmikroskop messbar sind. Untersuchungen der Adhäsion von SiO₂-Partikeln an verschiedenen Edelstahl- und Siliziumproben konnten den angenommenen Zusammenhang nicht bestätigen. Offenbar sind eher makroskopische Kennwerte, wie die mit dem Laser-Scanning-Mikroskop ermittelte strukturabhängige Rauheit, zielführend, um den Partikelrückstand zu erklären.